核心观点：
6 月设备概念股招标扩产持续推进，积塔、中芯、燕东招标量居前。2022 年6 月招标以积塔、中芯、燕东、华虹、晋华等产线为主，合计产生40项招标，积塔、中芯、燕东的招标量位居前三。招标项目方面，整体以热处理、量测、清洗三类设备龙头股的招标量居多，其中，热处理和量测设备均为积塔特色工艺生产线招标，清洗设备为燕东8 寸晶圆项目招标。
此外，基建项目的招标量也较为可观，主要为中芯国际临港12 寸晶圆产线招标。2022 年1-6 月，中芯、华虹、华力、积塔、燕东、晋华等六条晶圆产线合计招标644 项，其中，积塔、华虹、燕东的招标量位居前三。整体而言，招标以沉积类设备、量测设备龙头股和刻蚀设备为主。
国产厂商卡位沉积/刻蚀/炉管等领域，6 月国产设备中标比例56%。中标方面，2022 年6 月，中芯、华虹、华力、积塔、燕东、晋华等六条晶圆产线上合计中标70 台设备，以去胶、量测、刻蚀、离子注入设备居多；国产设备整体中标比例约56%，其中，PVD、刻蚀、湿法腐蚀、炉管设备的国产中标比例显著。2022 年1-6 月，统计样本中的晶圆产线合计中标734 台设备，以沉积类、量测、刻蚀设备居多；国产设备整体中标比例约26%，其中，硅片再生、PVD、去胶、湿法腐蚀设备的国产中标比例较高。
6 月中微公司中标量领先，国产设备在所处工艺领域的中标表现突出。
2022 年6 月，中微公司、盛美上海等国内半导体设备厂商合计中标12 台设备，在对应工艺环节的中标比例为33%。其中，中微中标9 台刻蚀设备，中标量位居6 月首位，并且在沉积设备领域的中标比例为100%；盛美上海、上海精测、屹唐在炉管、量测、去胶设备领域各中标1 台设备，在相应领域中的中标比例分别为100%、11%、6%。
2022 年1-6 月，国内半导体设备厂商合计中标154 台设备，北方华创、中微公司、拓荆科技中标量位居前三位，分别中标59 台、22 台、14 台设备。其中，北方华创中标以刻蚀、氧化、PVD 设备居多；中微公司和拓荆科技中标则分别以刻蚀和沉积类设备龙头股为主。2022 年1-6 月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为27%。
其中，盛美上海的硅片再生设备、北方华创的PVD 设备和氧化设备龙头股在对应工艺环节的中标比例领先，分别为100%、60%、54%。
投资建议：建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、华海清科、拓荆科技、长川科技*、中微公司*、盛美上海*、芯源微、万业企业、至纯科技*、华峰测控*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）
风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。
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