国产化率计算：长江存储、华力集成、华虹无锡设备国产化率国产化率计算：长江存储龙头股、华力集成、华虹无锡设备国产化率（按照设备台数占比，下同）分别为17.9%、12.9%、18%。
从各类型设备来看，去胶、清洗、氧化扩散/热处理、刻蚀、化学机械抛光龙头股领域国产化率均可达到20%以上，而薄膜沉积、过程控制、离子注入、光刻、涂胶显影设备国产化率尚低。
长江存储在设备国产化方面较为积极，总体国产化率高于另两家晶圆厂三座晶圆厂横向对比来看，长江存储在设备国产化概念股方面较为积极，总体国产化率高于另两家晶圆厂。这可能是由于长江存储生产存储芯片，为IDM模式（设计、制造一体），设备选择自主性相对高于晶圆厂代工厂（代工厂或需考虑设计客户接受情况）。
华虹无锡与华力集成同属于华虹集团，而华虹无锡各类型设备国产化率基本均高于华力集成（个别如氧化扩散/热处理、离子注入除外，但相差不大），这可能是由于华虹无锡主要制程在90nm~55nm，属于成熟制程，华力集成主要为28~14nm，相对于华虹无锡而言属于较先进制程，成熟制程在设备国产化率方面相对更高。
产能扩张+国产替代积极推进，看好未来3年半导体设备行业发展展望2023年，中芯国际、华虹无锡、华力集成等晶圆代工厂以及长鑫存储、长江存储等IDM厂均有持续产能扩增计划，国内资本开支保持较高投入水平。
另一方面，美国制裁华为、中芯国际等已经激发国内厂商供应链安全意识，国内晶圆厂有望加快供应链本土化，国产设备厂商接下来3~5年有望受益国产份额的提升，半导体设备企业有较强基本面支撑。
建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。
推荐北方华创、中微公司、盛美上海，建议关注拓荆科技、华海清科、芯源微、屹唐股份、至纯科技、精测电子等。
除晶圆厂工艺设备外，测试设备/封装设备方面亦受益国内晶圆制造、配套测试、封装产能扩张，国产化持续推进，推荐华峰测控，建议关注长川科技、新益昌、光力科技等。
风险因素
下游需求不及预期；
国际产业环境变化和贸易摩擦加剧风险；
宏观经济概念股增速不及预期；
晶圆厂资本开支不及预期；
国产设备研发进展不及预期等。
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